T8 LED黄色光管は、紫外線と青色成分をフィルタリングするように特別に設計されており、波長500nm未満UV 感光性アプリケーション向け。Arf、Krf、g、h、i ラインの広帯域フォトレジストは、スペクトルの可視青色領域から近紫外線までの範囲のスペクトル感度を持っています。フォトレジストの感光領域の波長を含み、レジストでコーティングされた基板を早期に露出させる人工白色光や昼光光源により、繰り返し可能なリソグラフィープロセスが困難になります。フォトリソグラフィー室では、T8 LED 黄色光管が、半導体フォトレジストやその他のフォトエマルジョンを UV 光から保護しながら、周囲照明を提供する経済的で信頼性の高い方法を提供します。
厳密なスペクトル制御を備えた黄色の LED チューブは、0 から 520 ナノメートルまでのすべての光を完全に遮断し、人々が快適に作業するために必要な照度を犠牲にすることなく、紫外線から保護された環境を作り出します。
